真空的獲得是真空技術(shù)的主要組成部分，借助于多種方法，可在被抽容器中獲得一定的真空度.目前可獲得的真空度范圍相當(dāng)寬，從100kPa到10-11Pa,就電光源工業(yè)來(lái)說(shuō)，也要從100kPa到10-4Pa。

因此，應(yīng)按照不同的真空度要求和使用情況選擇不同的手段獲得真空.現(xiàn)有獲得真空的手段大致可分為下述三類(lèi):真空泵(如機(jī)械泵、擴(kuò)散泵等)、吸氣劑(紅磷、鋇鋁、鈦、ZrAl16等)和蒸氣捕集器(冷阱、干燥器等)。在電光源工業(yè)中，獲得真空的主要手段是依靠機(jī)械真空泵和蒸氣流擴(kuò)散真空泵。