超高真空泛指壓強低于1×10-6Pa的真空空間.超高真空的排氣是在高真空排氣之后進(jìn)一步排除來自于容器壁的氣源。這些氣源有被器壁吸附和吸收的氣體，有微量的滲透氣體。有與固體表面雜質(zhì)反應(yīng)產(chǎn)生的氣體，還有測量壓強的規(guī)管因受熱而放出的氣體等。由此可見.掌握各種材料的放氣、滲透和蒸氣壓的詳細(xì)資料，以及與超高真空相適應(yīng)的各種抽氣手段是設(shè)計好超高真空系統(tǒng)的關(guān)鍵。

超高真空系統(tǒng)設(shè)計與高真空系統(tǒng)有相同之處，如管路的流導(dǎo)計算，殼體強度計算，主泵抽速計算及泵之間匹配選擇，真空元件的清沽處理及檢漏等。

超高真空系統(tǒng)設(shè)計也有許多不同之處:選擇真空泵的方法不同;對材料要求更為嚴(yán)格;密封結(jié)構(gòu)和密封材料不同;需采用烘烤措施，焊接結(jié)構(gòu)和方法不同;對漏率控制更為嚴(yán)格等。