真空技術(shù)中習(xí)慣以各向同性的中性氣體的壓力來(lái)表示真空度的高低。通常把用于測(cè)量比大氣壓小得多的氣體壓力的工具稱(chēng)為真空計(jì)或真空規(guī)．由干指定空間內(nèi)被測(cè)氣體大多數(shù)為混合氣體．因此．一般意義上的真空測(cè)量應(yīng)屬于混合氣體的全壓力測(cè)量。所用的真空計(jì)也是測(cè)量全壓力的真空計(jì)．
真空測(cè)量技術(shù)還包括氣體成分分析和分壓力測(cè)量?jī)煞矫鎯?nèi)容。前者是指定性地判斷殘余氣體中包含有哪些種類(lèi)氣體成分并大略估計(jì)各自所占的比例．后者則是指在能滿(mǎn)足一定精度要求的條件下定量測(cè)定各種氣體成分的分壓力值。所使用的儀器基本是不同類(lèi)型的質(zhì)譜計(jì)．分別稱(chēng)為殘余氣體分析儀和分壓力計(jì)。
目前所采用的真空計(jì)．一種是從其本身測(cè)得的壓強(qiáng)物理量中直接算出氣體的壓力值．這就是絕對(duì)真空計(jì)，另一種是通過(guò)與氣體壓力有關(guān)的物理量以間接方法反映出所測(cè)的氣體壓力值．這就是相對(duì)真空計(jì)。由于相對(duì)真空計(jì)必須通過(guò)絕對(duì)真空計(jì)的校準(zhǔn)才能準(zhǔn)確地對(duì)真空度進(jìn)行測(cè)量．因此在真空測(cè)量技術(shù)中除了應(yīng)包括對(duì)氣體全壓力和分壓力的測(cè)量外．還必須把真計(jì)的校準(zhǔn)問(wèn)題納入其內(nèi)。
