真空熱處理工藝的發(fā)展,是與設(shè)備的發(fā)展分不開的,提高設(shè)備技術(shù)水平以適應工藝要求,往往又與配套件技術(shù)的發(fā)展密切相關(guān)。
真空泵的發(fā)展
在1873年發(fā)明白熾燈泡前,主要是用活塞式抽氣機獲得真空,但只能達到0.25乇的真空度。隨后電子管制造技術(shù)要求更高的真空度,就促進了真空技術(shù)的發(fā)展,因而相繼出現(xiàn)了各種真空泵:旋轉(zhuǎn)水銀泵(1905年),油封旋轉(zhuǎn)泵(1907年)、分子泵(1913年)和擴散泵(1915年)。其中擴散泵的發(fā)明、使真空技術(shù)進入高真空度(10-8毛左右)的階段。隨著近代科學技術(shù)的發(fā)展,例如加速器、熱核反應裝置,大型真空護等,都要求能在大容積的空間建立必要的真空度。因此,到了60年代初期,擴散泵的排氣速度已達到了數(shù)萬升/秒的能力。
但是,就真空熱處理所需的真空度而言,一般達到1x10-2~1x10-4乇就足夠了,只在特殊情況下,才用1x10-5~1X10-6乇的真空度。所以真空熱處理爐常用的真空泵,是由機械泵和油蒸發(fā)擴散泵所組成。